熱式氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的,該儀表采用恒溫差法對氣體進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方便,測量準確等優點。傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成,儀表工作時,一個傳感器不間斷地測量介質溫度T1;另一個傳感器自加熱到高于介質溫度T2,它用于感測流體流速,稱為速度傳感器。該溫度△T=T2-T1, T2>T1, 當有流體流過時,由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走,使T2的溫度下降,若要使OT保持不變,就要提高T2的供電電流,氣體流動速度熱快,帶走的熱量也就越多,氣體流速和增加的熱量存在固定的函數關系,這就是恒溫差原理。
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