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[VIP第2年] 指數:1
通過認證
| 形狀 | 形狀檢測方式 | 檢測距離 | 動作模式 | 導線長 | 型號 |
|---|---|---|---|---|---|
 |
（紅外光） |
EE-SPY801 2M | |||
|
EE-SPY802 2M |
通過與導槽并用的方式設定落座位置
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂
***的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架
采用抗干擾光的變調光方式
使用環保導線（無滑石粉）
本體
附件（另售）
| 名稱 | 型號 |
|---|---|
| EE9-C01 | |
| EE9-C02 |
注： 不具備傳感器的功能。
| 項目 型號 | EE- SPY801/802 | |
|---|---|---|
| 檢測距離 (標準檢測物體) |
0～5mm (反射率90% 白色畫紙15×15mm2) 0～3mm (反射率10% 黑紙15×15mm2) |
|
| 檢測物體 | 晶圓片托架(透明物體、不透明物體) | |
| 動作指示燈 | 物體檢測時亮燈(橙色) | |
| 光源(***大發光波長) | GaAs紅外發光二級管(940nm) | |
| 電源電壓 | DC12～24V±10% 紋波(p-p) 5%以下 | |
| 消耗電流 | 30mA以下 | |
| 控制輸出 | NPN集電極開路輸出、DC5～24V、100mA以下、關機電流0.5mA以下 殘留電壓：0.8V以下(負載電流100mA時) 殘留電壓：0.4V以下(負載電流40mA時) |
|
| 響應時間 | 5ms以下 | |
| 使用環境照度 | 受光面照度 白熾燈、太陽光：各3,000lx以下 | |
| 環境溫度范圍 | 工作時：-10～+55℃、保存時：-25～+65℃ (無結冰) | |
| 環境溫度范圍 | 工作時：5～85%RH、保存時：5～95%RH (無結露) | |
| 振動(耐久) | 1～500Hz 單振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次掃頻、11min/掃頻 | |
| 沖擊(耐久) | 500m/s2 X、Y、Z各方向 3次 | |
| 保護結構 | IEC規格 IP30 | |
| 連接方式 | 導線引出型(標準導線長2m) | |
| 質量(包裝后) | 本體(傳感器)：約43g、附件(導槽)：約9g | |
| 材質 | 外殼 | 四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE) |
| 底板 | 聚苯二甲酸丁二醇酯 | |
| 附件 | 使用說明書 | |
單位：（mm）
本體
EE-SPY801
EE-SPY802
附件（另售）
導槽
EE9-C01
導槽
EE9-C02
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