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[VIP第7年] 指數:4
采用直線電機，使搬運、推送和長度測量系統小型化。
厚度：9mm，質量：130g（行程10mm時）。
***大推力：6N。
重復定位精度：±5μm。
推進測長精度：±10μm。
***高使用頻率：500cpm。
| 列 | 行程（mm） | 傳感器 （光學式直線 編碼器）分辨率 |
推進 瞬時***大推力 |
重復 定位 精度 |
推進 測長 精度 |
***高速度 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| LAT3F | 10, 20, 30, 50 | 1.25μm | ～6N | ±5μm | ±10μm | 400mm/s |
| LAT3M | 50 | 5μm | ～6N | ±20μm | ±40μm | 400mm/s |
| LAT3 | 10, 20, 30 | 30μm | ～6N | ±90μm | ±100μm | 400mm/s |
