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1、該設備可根據需要，平臺縱向移動和光學箱橫向移動，使得激光頭可在電池片指定區域下方，通過振鏡快速掃描，去除電池片指定區域膜層
2、自動化程度高（選配自動上下料），整機效率高（加工效率提升了300%）
3、跟隨式除塵，集塵口跟隨激光光斑運動，保證清邊的同時集塵
4、激光掃邊只去除膜層，不會對薄膜造成損傷
5、未被激光掃除的膜層不受到粉塵的損傷和污染
6、掃邊完成的工件表面無粉塵、顆粒殘留
7、經過激光掃邊后工件能通過絕緣性能測試，層壓后拒絕電阻值﹥1000MΩ
8、除塵效果：清邊后用400倍顯微鏡檢查清邊區域無大于1微米顆粒
技術參數
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激光波長 |
1064nm |
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激光脈沖寬度（典型值） |
70ns，10kH，1064nm |
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激光脈沖穩定性 |
﹤3%（RMS）up to 15KHz |
| 輸出方式 | 單機單激光器單光路輸出 |
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Z軸光點焦平面調節 |
浮動微調 |
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平均加工速度 |
200~400mm/s |
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平均清邊效率 |
≤1分鐘/板（含進出料）（清邊寬度≤15mm） |
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運動直線度 |
±10um/m |
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工作臺平面度 |
50um |
| 清邊精度 | ±0.1mm |
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光斑直徑 |
0.5~1mm |
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光斑形態 |
方形光斑 |
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有效加工范圍 |
635mm×400mm（可定制） |
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電阻值 |
1000MΩ，1000VDC（層壓前） |
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冷水機供水 |
去離子水 |
