1、要想獲得高效率非晶硅/微晶硅疊層薄膜太陽能電池,激光切割是實現其良好組件性能的關鍵技術之一。本設備對微晶硅薄膜太陽能電池引入后所涉及的P2、P3(第二道和第三道)激光劃線進行加工,為高效率非晶硅/微晶硅疊層薄膜太陽能電池組件的獲得提供了很好的數據基礎
2、劃線時,基板玻璃面向上,鍍膜面向下,激光透過玻璃對膜面進行劃線
3、激光劃線過程中產生的粉塵實時從下方通過集塵機被吸走
4、CCD成像系統
技術參數
激光器 |
532nm |
加工幅面 |
450mm×450mm(可定制) |
聚焦光斑 |
≤0.02mm |
刻蝕線寬 | ﹤40um |
工作臺定位精度 |
±2um |
工作臺重復精度 |
±1um |